国产半导体机器人破“颈” 中科芯微硬核突围

　　中新网辽宁新闻11月17日电 “产品好才是真的好，一切靠产品说话！”近日，中科芯微智能装备(沈阳)有限公司副总经理荆晓南接受记者采访时，道出了国产半导体机器人企业突围的核心逻辑。

　　据了解，半导体机器人通常应用在刻蚀、PVD、CVD、清洗、去胶等芯片加工工艺步骤中，是芯片制造领域中不可或缺的核心零部件之一。长期以来，该设备技术门槛高，国内市场被国外厂商垄断，成为国产半导体产业链的“卡脖子”痛点。如今，中科芯微以自主研发的全系列产品强势突围，打破国外技术封锁，撬动全球市场格局。

　　产品为王强势破局

　　据荆晓南介绍，中科芯微自2020年成立以来，深耕半导体机器人赛道，仅用五年时间便实现跨越式发展。目前，公司已研发生产四十余品类、超百种型号的半导体机器人产品，全面覆盖真空、大气两大核心系列，精准匹配不同芯片制造工艺需求。这些产品随着客户设备批量进入终端Fab厂稳定运行，实现从技术研发到产业应用的完整闭环，用实打实的产品性能打破国外品牌的长期垄断。

　　落子沈阳三重赋能

　　记者了解到，中科芯微的崛起轨迹，与东北老工业基地的产业转型同频共振。2020年，作为素珀电子科技(上海)有限公司的全资子公司，中科芯微果断落子沈阳，这一决策背后，是人才、成本、情怀的三重考量与精准布局。

　　沈阳作为东北工业重镇，拥有中科院沈阳自动化研究所及高校资源，半导体产业集聚效应初显，能提供充足的技术人才储备；相较于一线城市，沈阳人力、场地等运营成本相对较低，有效缓解了初创企业的资金压力；更重要的是，公司董事长朱玉东怀揣深厚的桑梓情怀，始终心系家乡发展，将产业转移与反哺家乡相结合。

　　创新为魂技术筑垒

　　从中科芯微的发展历程来看，技术创新是贯穿始终的核心驱动力。其母公司素珀电子自2013年在上海创立以来，便深耕半导体机器人维修领域，积累了丰富的核心技术经验和行业痛点认知。这些沉淀多年的技术成果，在2020年中科芯微成立后实现高效转化，成为沈阳研发基地快速突破的重要基础。

　　目前，中科芯微员工总数超300人，其中技术相关人员占比接近50%，研发设计团队规模近百人。截至目前，公司累计获得专利超百件，在高精度定位、高速运动控制、洁净环境适配等关键技术领域构建起坚实的知识产权壁垒。

　　公司还建立了市场导向的研发机制：研发部门与市场部门定期联动，将客户实际应用需求与专利布局深度融合，让技术创新始终贴合产业实际。同时加大研发投入，完善人才培养体系，将创新理念融入企业文化，推动产品功能持续升级，确保在行业竞争中始终保持技术领先。

　　资本加持加速腾飞

　　2025年，中科芯微迎来发展历程中的重要转折点——成功完成新一轮融资，获得国家集成电路产业投资基金(简称“国家大基金”)领投、行业龙头企业跟投，为后续发展注入强劲动力。

　　“国家大基金和行业龙头的加持，让我们在技术研发和市场开拓上更有底气。”荆晓南表示，融资资金将重点投向核心技术攻坚、新产品研发和产能提升，进一步缩小与国外龙头企业的差距。“当我们的全系列产品都能比肩甚至超越国外同类产品时，公司的跨越式发展自然水到渠成。”

　　产业赋能引领升级

　　今年以来，中科芯微半导体机器人研发生产基地项目正式开工建设，成为企业扩大产能、引领区域产业升级的新引擎。据测算，该基地项目竣工投产后，将形成年产半导体机器人3000台以上的产能，年产值预计突破10亿元。不仅如此，项目还将带动上下游零部件、精密加工等配套企业集聚，形成具有规模效应的半导体装备产业集群，为辽宁乃至东北半导体产业链的完善和升级注入新动能。

　　“当前，半导体机器人自主研发正迎来黄金发展期。”荆晓指出，随着国家对半导体产业支持力度的加大，国内第一梯队企业技术突破不断加速，产品稳定性持续提升，国产替代的规模和速度正在快速扩大。“破解‘卡脖子’难题，既是时代赋予我们的使命，也是企业发展的重大机遇。”

　　展望未来，随着新生产基地的建成投产，中科芯微将进一步提升产能规模和技术实力，不仅为辽宁半导体产业链升级提供核心支撑，更将推动国产半导体机器人在全球市场占据一席之地。(完)